產(chǎn)品信息 »
按行業(yè)劃分的產(chǎn)品介紹 »
生產(chǎn)設(shè)施 設(shè)備配管元件 »
惰性氣體、CDA(clean dry air)管路
- 節(jié)能、用途、行業(yè)產(chǎn)品介紹
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潔凈型氣體過(guò)濾器 SF
氣源處理元件 ? 壓縮空氣清凈化過(guò)濾器無(wú)潤(rùn)滑脂 氮?dú)猓∟2）對(duì)應(yīng)元件 ? 氣源處理元件
-
?采用可更換濾芯的夾頭型。
(SFA100?200?300，SFB100)
?半導(dǎo)體工藝用的小型一次性過(guò)濾器。
(SFB300，SFC100)
| 形式 | 系列 | 使用壓力 | 過(guò)濾精度 |
|---|---|---|---|
| 夾頭型 圓盤(pán)式 | SFA100?200?300 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 夾頭型 直通式 | SFB100 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 一次性型 直通式 | SFB300 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 一次性型 多盤(pán)型 | SFC100 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
