半導(dǎo)體及太陽能電池的制造過程中，晶片處理時使用的惰性氣體及特殊氣體的總稱。

特殊氣體主要是高壓儲氣瓶所提供的氣體的總稱，這些氣體會具有毒性、可燃性、助燃性、自燃性、腐蝕性等性質(zhì)。

指工廠中大量使用的氮氣及氬氣等，將其制成液氮一樣的液化氣體進(jìn)行運輸，并通過蒸發(fā)器將其氣化并進(jìn)行供氣。

用于如半導(dǎo)體等需要極高潔凈度氣體的行業(yè)。具有使用SUS316L二次重熔或SUS316L材質(zhì)，氣體接觸部分采用電解研磨處理及外部間隙密封等特點。

用于激光加工、分析、醫(yī)療等，不需要高潔凈度氣體的行業(yè)。材質(zhì)可選擇SUS316或黃銅。

使用氣缸機(jī)殼及集裝式高壓儲氣瓶時，將儲氣瓶壓力減壓至管路壓力所使用的元件。

集裝式閥盒（VMB）等氣體分配盒等裝置中，設(shè)置于一次側(cè)高壓用減壓閥的下游，用于調(diào)節(jié)管路壓力的元件。

用于大宗氣體、BSGS（大宗特殊氣體系統(tǒng)）等，消耗大量的氣體的生產(chǎn)線的元件。

用于需要在低蒸汽壓氣體處使用，使減壓閥輸出側(cè)成為負(fù)壓的元件。

將輸入壓力減小，使輸出壓力保持在一定范圍的調(diào)壓閥。
AP、SL、AZ、AK系列為直動型非溢流型減壓閥，采用金屬隔膜，可用于工藝氣體。

一次側(cè)減壓閥是根據(jù)調(diào)節(jié)彈簧和氣壓的平衡而動作，因此輸入側(cè)壓力改變也會使輸出側(cè)壓力也隨之改變。
二次側(cè)減壓閥是一次側(cè)減壓閥兩個串聯(lián)的結(jié)構(gòu)，先將輸入側(cè)壓力減壓至中間壓，再減至設(shè)定壓力，所以可以抑制輸入壓力對輸出壓力的影響，改善壓力特性。

膜片和（座閥式）閥芯相連接的結(jié)構(gòu)，膜片處施加的輸出壓力使閥可以更穩(wěn)定，從而防止異物阻塞而引起的閥泄漏。

氣體接觸部分采用無彈簧結(jié)構(gòu)。雖采用和膜片閥芯一體結(jié)構(gòu)相同的膜片和（座閥式）閥芯相連接的結(jié)構(gòu)，但閥芯沒有彈簧。

使輸入壓力保持在一定范圍的調(diào)壓閥，當(dāng)輸入壓力高于設(shè)定壓力時，可以通過調(diào)壓閥將多余的壓力導(dǎo)入輸出側(cè)從而是壓力保持在一定范圍內(nèi)。

由于通過金屬隔膜上下的運動而控制流路的開閉，也可作為氣體斷流閥使用。
由于隔膜為圓頂型并且具有彈性，接氣部沒有彈簧，并且隔膜將驅(qū)動部與接氣部隔開，所以流路的死空間很少，形成了不易產(chǎn)生顆粒的結(jié)構(gòu)。

鎖定/標(biāo)記，為了保護(hù)工廠的操作人員使用。
鎖定是切斷供給設(shè)備的氣流，并用鑰匙等固定以使其無法操作。標(biāo)記是在操作設(shè)備上安裝警告標(biāo)簽，以防止因誤操作等引起的事故。

輸入側(cè)或輸出側(cè)配管端口處焊接的清洗用端口，配管施工時或維護(hù)時在閥關(guān)閉的情況下清洗時使用。

閥體會防止流體的背壓引起逆流。
AP64系列是內(nèi)部可活動零件只有O型密封圈的簡單結(jié)構(gòu)，并且由于是不使用閥芯及彈簧的無彈簧結(jié)構(gòu)，因此不必?fù)?dān)心零件的震動和震蕩等引起的顆粒產(chǎn)生及下流側(cè)的壓力改變。

利用氣體從噴嘴中高速噴出時，周邊的流體會被吸引產(chǎn)生低壓這一現(xiàn)象來形成真空的元件。
更換高壓儲氣瓶時，可以利用其排放配管中殘留的廢氣。
AP71、AP72系列是帶有閥和單向閥功能的模塊型元件。

AP71、AP72系列中，即使閥關(guān)閉時，也會有一定量的N2分流氣體會通過孔口流入排氣管線，在排氣管線需要時常保持不活動狀態(tài)的情況下十分有效。

可以檢測超過設(shè)定流量的過量流量，用于檢測由于管道破損導(dǎo)致的過量流量。
此外，AP74、AP74B系列沒有流量顯示功能。

奧氏體系不銹鋼，提高了鎳的含量并加入了鉬元素從而提升了材料的耐腐蝕性。

SUS316的低碳鋼，SUS316的特點之外還具有抗晶間腐蝕性的特點。

與普通的SUS316L相比，其材料中含有的雜質(zhì)成分降低至極限的高品質(zhì)材料。
APtech的材料符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)F20的UHP等級。

Haynes國際公司的注冊商標(biāo)。
鎳鉻鉬合金，具有良好的耐腐蝕性。

ELGILOY特種金屬公司的注冊商標(biāo)。
鈷鉻鎳合金,具有優(yōu)秀的耐腐蝕性和高彈性。作為隔膜閥的隔膜的材料使用。

聚氯三氟乙烯。高透明度、高硬度的氟樹脂，具有良好的低溫特性。被用作為減壓閥及隔膜閥的標(biāo)準(zhǔn)（閥芯）座的材料。

PTFE為全氟樹脂，在化學(xué)上具有穩(wěn)定性。與PCTFE相比，具有同等以上的耐化學(xué)性。是減壓閥AP500、AP, AZ＆AK1000、AP＆AZ1100、AZ＆AK1300的（閥芯）座材料的可選材料。將減壓閥作為過程工具使用時，推薦選擇使用PTFE（閥芯）座的。

杜邦公司的注冊商標(biāo)。
耐高溫塑料（聚酰亞胺樹酯）。具有優(yōu)良的耐熱性和耐磨性。是在使用高溫規(guī)格及N2O或CO2等特定氣體時（閥芯）座的材料。

聚醚醚酮。作為熱塑性樹脂具有優(yōu)異的耐熱性。并且具有良好的耐疲勞性和耐化學(xué)性。
是減壓閥的（閥芯）座材料的選擇。

杜邦公司的注冊商標(biāo)。
氟橡膠（FKM）。具有良好的耐熱性和耐化學(xué)性。

杜邦公司的注冊商標(biāo)。
高氟橡膠（FFKM）。具有比氟橡膠更好的耐熱性和耐化學(xué)性。

將金屬零件浸于電解液中并通電，使其表面變得平滑、光亮的技術(shù)。

將金屬部件浸入硝酸等處理液中，使其在表面形成鈍化膜，以提升其耐腐蝕性。

在套筒的前端安裝金屬墊片，并通過擰緊螺母從而形成密封的接頭，從真空到正壓均表現(xiàn)出良好的密封性。

在氣動元件進(jìn)行配管時，不使用接頭直接對配管進(jìn)行焊接。

咬合式管接頭，使用雙重套圈，并通過擰緊螺母使套圈與配管咬合從而連接。

美式管用圓錐螺紋標(biāo)準(zhǔn)。

表示主體內(nèi)表面（接氣部）的表面粗糙度。Ra是粗糙度的算術(shù)平均值，是參考長度下表面形狀峰谷的平均值。
Ra max是任意部分的多個粗糙度算術(shù)平均值Ra的測量值中最大的數(shù)值。

閥的容量系數(shù)。表示15.6℃的水在一定壓力差下流過閥時的流量的數(shù)值。計算方法符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的F32。該數(shù)值為減壓閥全開狀態(tài)下的值。

單向閥壓力上升，閥開始打開，達(dá)一定流量時的壓力。

真空發(fā)生器所能產(chǎn)生的真空壓力的最大值。

Standard Liter（升）/min的縮寫。
表示0℃、1個大氣壓下1分鐘的體積流量。

表示減壓閥的輸入壓力保持在一定狀態(tài)，將設(shè)定壓力（輸出壓力）設(shè)定在某一數(shù)值后，隨著輸入壓力的變化而引起的輸出壓力變化量。

產(chǎn)品內(nèi)部的壓力低于外部壓力時發(fā)生的，從產(chǎn)品外部向內(nèi)部泄漏的量。檢測時需要將產(chǎn)品內(nèi)部置于真空，從外部吹氦氣，檢測進(jìn)入內(nèi)部的氦氣。檢測方法符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)F1。

產(chǎn)品內(nèi)部的壓力高于外部壓力時發(fā)生的，從產(chǎn)品內(nèi)部向外部泄漏的量。檢測時需要向產(chǎn)品內(nèi)部充填氦氣，檢測泄露到外部的氦氣。檢測方法符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)F1。此外，產(chǎn)品目錄記載的外側(cè)泄露值為鐘罩法測量的數(shù)值。

產(chǎn)品內(nèi)部的閥座部分的泄漏量。檢測方法符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)F1。此外，產(chǎn)品目錄記載的減壓閥內(nèi)部泄漏值為鐘罩法測量的數(shù)值。

泄漏檢測方法的一種，將封入氦氣的試驗體置于鐘罩（真空容器）內(nèi)，并連接上鐘罩內(nèi)的檢漏器，檢測試驗體泄露至鐘罩內(nèi)的氦氣。

半導(dǎo)體、平板顯示器、納米技術(shù)、MEMS、太陽能發(fā)電、其他相關(guān)技術(shù)的制造設(shè)備·材料·提供相關(guān)服務(wù)的企業(yè)的國際產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）發(fā)行的自愿性標(biāo)準(zhǔn)。