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產(chǎn)品目錄

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高真空閥

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常閉型高真空電磁閥 XSA

    ?最低使用壓力:1×10-6Pa(abs)
    ?泄漏量:內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。
    ?有2種接頭和內(nèi)螺紋可選。
    ?消耗功率:最多削減25%。
    ?質(zhì)量:最多減小18% 0.5kg→0.41kg。
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XSA常閉空氣
惰性氣體
面密封接頭
卡套式接頭
1/4, 3/8
XSA常閉空氣
惰性氣體
Rc, NPT內(nèi)螺紋1/8, 1/4, 3/8

平穩(wěn)排氣閥 XVD

    ?閥與針閥一體化,配管空間為原來的1/4。
    ?密封部采用金屬膜片,大幅減少了微粒的產(chǎn)生。
    ?初始供氣、主給気可同時進行流量調(diào)節(jié)。
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XVD常閉
(加壓開?彈簧密封)
氮氣、空氣、
惰性氣體等
VCR?
Swagelok?
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