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課題?行業(yè)別產(chǎn)品
膜片閥 高純度工藝氣體用 AP
工藝氣體元件（特氣閥） ? 工藝氣體用元件無潤滑脂 氮氣（N2）對應元件 ? 工藝氣體元件
-
?用于半導體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。
?可作為氣體的切斷閥使用。
?接觸氣體部分無彈簧，驅動部也使用膜片隔離，因此減小了氣路的死區(qū)，抑制了粒子的產(chǎn)生。
| 系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AP | 氣控型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
| AP | 小型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
