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潔凈型氣體過濾器 SF

氣源處理元件 ? 壓縮空氣清凈化過濾器
無潤滑脂 氮氣（N2）對應(yīng)元件 ? 氣源處理元件
    ?采用可更換濾芯的夾頭型。
    　(SFA100?200?300，SFB100)
    ?半導(dǎo)體工藝用的小型一次性過濾器。
    　(SFB300，SFC100)
形式系列使用壓力過濾精度
夾頭型
圓盤式		SFA100?200?300最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）
夾頭型
直通式		SFB100最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）
一次性型
直通式		SFB300最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）
一次性型
多盤型		SFC100最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）

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