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縫閥 XGT

高真空元件 ? 縫閥／門式閥
    ?在半導(dǎo)體裝置等中、適合用作負(fù)載鎖定室和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥。
系列使用壓力范圍（Pa）使用流體門尺寸
（高×寬）（mm）		動作壓力
（MPa）
XGT大氣壓～1×10-6惰性氣體類的真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6

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