真空用機器
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真空?破壊ユニット VQD1000-V
方向制御機器 ? 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）真空用機器 ? 真空破壊弁ユニット
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?0603チップ対応。
?応答速度：13msec（500mm時※）/18.5msec（1000mm時※）
?オーバーシュートのない滑らかなワークの離脫。
?真空?正圧の切換タイミングの調(diào)整不要。
?破壊エアの絞り回路不要。
?サクションフィルタ：ZFC050（オーダーメイド）
※ユニットからワークまでの距離。
