産業(yè)用ロボット向機(jī)器
クリーンロボット低真空
産業(yè)用ロボット向機(jī)器
クリーンロボット低真空
シリーズ | 出口空気流量L/min(ANR) | 出口空気大気圧露點(℃) |
---|---|---|
10-IDG30A~100A | 300~1000 | -20 |
10-IDG30HA~100HA | 300~1000 | -15 |
10-IDG30LA~100LA | 75~300 | -40 |
10-IDG60SA~100SA | 50~150 | -60 |
10-IDG3~100 | 25~1000 | -20 |
10-IDG3H~100H | 25~1000 | -15 |
10-IDG30L~100L | 75~300 | -40 |
10-IDG60S~100S | 50~150 | -60 |