クリーンガスフィルタ?エアフィルタ
クリーンガスフィルタ SF
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?エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
(SFA100?200?300，SFB100)
?半導(dǎo)體プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
(SFB300，SFC100)
| タイプ | シリーズ | 使用圧力 | ろ過(guò)度 |
|---|---|---|---|
| カートリッジタイプ ディスク形 | SFA100?200?300 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| カートリッジタイプ ストレート形 | SFB100 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| カートリッジタイプ ストレート形 | SFB200 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 120μm |
| ディスポーザブルタイプ ストレート形 | SFB300 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 | SFC100 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
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?中空糸エレメント內(nèi)蔵。
?圧力降下：0.03MPa（1次圧0.7MPa、最大流量時(shí)）
?環(huán)境負(fù)荷化學(xué)物質(zhì)削減RoHS対応。
?金屬ケースタイプ(オーダーメイド)
ステンレスケース、アルミケース
安全上のご注意 特長(zhǎng)/基本仕様/クリーン共通注意事項(xiàng)
圧縮空気清浄化機(jī)器/共通注意事項(xiàng) 機(jī)種選定?技術(shù)資料 特定開(kāi)発品情報(bào)
グリーン対応（RoHS）
圧縮空気清浄化機(jī)器/共通注意事項(xiàng) 機(jī)種選定?技術(shù)資料 特定開(kāi)発品情報(bào)
グリーン対応（RoHS）
| シリーズ | 種類 | 処理流量(ANR) （一次圧0.7MPa時(shí)） | 使用圧力 | ろ過(guò)度 |
|---|---|---|---|---|
| SFD100 | ディスポーザブル （エレメント交換不可） | ～100L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
| SFD110 | ディスポーザブル （エレメント交換不可） | ～120L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
| SFD200 | カートリッジ型 （エレメント交換可） | ～500L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
クリーンエアモジュール LLB
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?クリーン機(jī)器をモジュール化（配管工數(shù)削減／省スペース）。
手軽にクリーンエアが得られます。
?ろ過(guò)度：0.01μm（捕集効率99.99％）。
?流體接觸部：ノングリース、シリコーンフリー。
?クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
?24種類の組合せが可能。
注）入口空気條件 ISO 8573-1 品質(zhì)等級(jí) 1.4.1～1.6.1相當(dāng)
| シリーズ | 使用流體 | 設(shè)定圧力 | 流量範(fàn)囲 L/min（ANR） |
|---|---|---|---|
| LLB3 | クリーンエア N2ガス 注） | 0.05～0.4MPa | 5～100 |
| LLB4 | クリーンエア N2ガス 注） | 0.05～0.4MPa | 50～500 |
