高真空バルブ
アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G
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?アルミボディ採用
均一なベーキング溫度
軽量?コンパクト
アウトガスが少ない
重金屬汚染が少ない
?ベローズ交換が可能
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-2 | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLAV-2（電磁弁付） | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLC-2 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLF-2 | エア オペレート | 単動 （N.C.） | Oリングシール | 高速作動 高作動回數(shù) | 16～80 |
| XLFV-2（電磁弁付） | エア オペレート | 単動 （N.C.） | Oリングシール | 高速作動 高作動回數(shù) | 16～80 |
| XLG-2 | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回數(shù) | 16～80 |
製品特長
■アルミ製高真空L 型バルブ
■アルミボディ採用
均一なベーキング溫度
熱伝導率が良く、ボディ全體が均一な溫度になり、生成物の付著が激減します。
軽量?コンパクト
小さなボディで大きなコンダクタンス。フッ素に対する耐食性に優(yōu)れています。（ボディ）
アウトガスが少ない
アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます。
重金屬汚染が少ない
Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金屬を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金屬汚染が少なくて済みます。
■ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）
ベローズAss'y での交換が可能になりメンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れます。
■電磁弁付追加 New
■ヒータ付に耐熱型2 色表示式無接點オートスイッチ選択可（オプション）New
?周囲溫度：Max. 150℃（センサ部）
?2 色表示式
■ヒータ付の選択可能（オプション）
100/120℃用
■オートスイッチ4方向から取付可能
■高真空L型バルブ シリーズバリエーション
