高真空バルブ
アルミ製高真空L型バルブ XL□
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?フッ素に強(qiáng)い。
?アウトガスが少ない。
?重金屬?zèng)A染が少ない。
※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16～80は2017年9月に
モデルチェンジしました。
XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願(yuàn)います。
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～160 |
| XLAV（電磁弁付） | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～160 |
| XLC | エア オペレート | 複動(dòng) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～160 |
| XLCV（電磁弁付） | エア オペレート | 複動(dòng) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLF | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | Oリングシール | 高速作動(dòng) 高作動(dòng)回?cái)?shù) | 16～160 |
| XLFV（電磁弁付） | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | Oリングシール | 高速作動(dòng) 高作動(dòng)回?cái)?shù) | 16～160 |
| XLG | エア オペレート | 複動(dòng) | Oリングシール | 高速作動(dòng) 高作動(dòng)回?cái)?shù) | 16～160 |
| XLGV（電磁弁付） | エア オペレート | 複動(dòng) | Oリングシール | 高速作動(dòng) 高作動(dòng)回?cái)?shù) | 16～80 |
| XLD | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負(fù)荷防止 | 25～160 |
| XLDV（電磁弁付） | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負(fù)荷防止 | 25～160 |
| XLH | 手動(dòng) | 手動(dòng) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～50 |
| XLS | 電磁式 | 単動(dòng) （N.C.） | (ベローズバランス) | エア不要 可搬裝置用 | 16，25 |
製品特長(zhǎng)
■アルミ製高真空L 型バルブ
■アルミボディ採(cǎi)用
均一なベーキング溫度
熱伝導(dǎo)率が良く、ボディ全體が均一な溫度になり、生成物の付著が激減します。
軽量?コンパクト
小さなボディで大きなコンダクタンス。フッ素に対する耐食性に優(yōu)れています。（ボディ）
アウトガスが少ない
アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時(shí)間も短くできます。
重金屬?zèng)A染が少ない
Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金屬を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金屬?zèng)A染が少なくて済みます。
■ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）
ベローズAss'y での交換が可能になりメンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れます。
■電磁弁付追加 New
■ヒータ付に耐熱型2 色表示式無(wú)接點(diǎn)オートスイッチ選択可（オプション）New
?周囲溫度：Max. 150℃（センサ部）
?2 色表示式
■ヒータ付の選択可能（オプション）
100/120℃用
■オートスイッチ4方向から取付可能
■高真空L型バルブ シリーズバリエーション
