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スリットバルブ

300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP

    ?長(zhǎng)壽命：300萬(wàn)回（常溫時(shí)）
    ?発塵量：1/5以下に低減（従來(lái)品比）
    ?メンテナンス性向上
    　容易なベローズ交換
    　トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
    ?安全対策
    　メカ式エンドロック機(jī)構(gòu)採(cǎi)用
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會(huì)社のシステムに移動(dòng)します。
    CADデータダウンロード時(shí)にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
    取扱説明書(shū)
    シリーズ 検索結(jié)果を表示
    XGTP検索結(jié)果を表示
シリーズ使用環(huán)境圧力 Pa（abs）使用流體開(kāi)口窓寸法
（高さ×幅）mm		作動(dòng)圧力
MPa（G）
XGTP大気圧～10-6不活性ガス50×3360.45～0.6

製品特長(zhǎng)

長(zhǎng)壽命：300 萬(wàn)回（常溫時(shí)）
発塵量：1/5 以下に低減（従來(lái)品比）

平行シール構(gòu)造採(cǎi)用により低発塵、長(zhǎng)壽命化

ゲート上昇?下降の直線(xiàn)動(dòng)作とゲート開(kāi)閉のクランプを平行にシールする構(gòu)造。

メンテナンス性向上

容易なベローズ交換



トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）

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