圧縮空気清浄化フィルタ
インラインエアフィルタ ZFC5□/7□-X05
-
?使用圧力範(fàn)囲:-100kPa~1.0MPa
1臺で正圧?真空圧の使用が可能
?回り止め機(jī)構(gòu)採用
正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止
?パッキン(FKM+禁油処理):-X05(オーダーメイド)
注)供給圧力0.1MPa、差圧30kPa
シリーズ | 適用チューブ外徑 ミリ | 適用チューブ外徑 インチ | 流量 L/min(ANR)注) 正圧 | 流量 L/min(ANR)注) 真空圧 | ろ過度(μm) |
---|---|---|---|---|---|
ZFC5□-X05 | φ4, φ6 | φ5/32'', φ1/4'' | 100/200 | 10/20 | 5 |
ZFC7□-X05 | φ6, φ8 , φ10, φ12 | φ1/4'', φ5/16'', φ3/8'' | 250/450/550/650 | 30/70/80/100 | 5 |
クリーンガスフィルタ SF
-
?エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
(SFA100?200?300,SFB100)
?半導(dǎo)體プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
(SFB300,SFC100)
タイプ | シリーズ | 使用圧力 | ろ過度 |
---|---|---|---|
カートリッジタイプ ディスク形 | SFA100?200?300 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
カートリッジタイプ ストレート形 | SFB100 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
カートリッジタイプ ストレート形 | SFB200 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 120μm |
ディスポーザブルタイプ ストレート形 | SFB300 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 | SFC100 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
-
?中空糸エレメント內(nèi)蔵。
?圧力降下:0.03MPa(1次圧0.7MPa、最大流量時(shí))
?環(huán)境負(fù)荷化學(xué)物質(zhì)削減RoHS対応。
?金屬ケースタイプ(オーダーメイド)
ステンレスケース、アルミケース
安全上のご注意 特長/基本仕様/クリーン共通注意事項(xiàng)
圧縮空気清浄化機(jī)器/共通注意事項(xiàng) 機(jī)種選定?技術(shù)資料 特定開発品情報(bào)
グリーン対応(RoHS)
圧縮空気清浄化機(jī)器/共通注意事項(xiàng) 機(jī)種選定?技術(shù)資料 特定開発品情報(bào)
グリーン対応(RoHS)
シリーズ | 種類 | 処理流量(ANR) (一次圧0.7MPa時(shí)) | 使用圧力 | ろ過度 |
---|---|---|---|---|
SFD100 | ディスポーザブル (エレメント交換不可) | ~100L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm (捕集効率:99.99%) |
SFD110 | ディスポーザブル (エレメント交換不可) | ~120L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm (捕集効率:99.99%) |
SFD200 | カートリッジ型 (エレメント交換可) | ~500L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm (捕集効率:99.99%) |
クリーンエアモジュール LLB
-
?クリーン機(jī)器をモジュール化(配管工數(shù)削減/省スペース)。
手軽にクリーンエアが得られます。
?ろ過度:0.01μm(捕集効率99.99%)。
?流體接觸部:ノングリース、シリコーンフリー。
?クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
?24種類の組合せが可能。
注)入口空気條件 ISO 8573-1 品質(zhì)等級 1.4.1~1.6.1相當(dāng)
シリーズ | 使用流體 | 設(shè)定圧力 | 流量範(fàn)囲 L/min(ANR) |
---|---|---|---|
LLB3 | クリーンエア N2ガス 注) | 0.05~0.4MPa | 5~100 |
LLB4 | クリーンエア N2ガス 注) | 0.05~0.4MPa | 50~500 |
クリーンエアモジュール LLB1-X100
シリーズ | 使用流體 | 流量範(fàn)囲 L/min(ANR) |
---|---|---|
LLB1-525 | クリーンエア N2ガス | 0.5?25 |
LLB1-550 | クリーンエア N2ガス | 1?50 |
LLB1-511 | クリーンエア N2ガス | 2?100 |