プロセスガス用機器
減圧弁(圧力調整器) 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP
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?半導體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
?ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
?接ガス部電解研磨処理。
?外部メタルシール構造。
シリーズ | 名稱 | 形式 | ボディ材質 |
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AP | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
AP | 高純度プロセスガス | 二段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
AP | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
SL | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
AZ | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L |
AZ | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L |
AK | 一般ガス用 | 一段式減圧弁 | SUS316 |
AK | 一般ガス用 | 二段式減圧弁 | SUS316 |
AK | 一般ガス用 | エアオペレート式減圧弁 | SUS316 |
BP | 高純度用 | 背圧弁 | SUS316 |
BP | 一般ガス用 | 背圧弁 | SUS316 |
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
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?半導體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
?ガスの遮斷弁として使用。
?接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
シリーズ | 名稱 | 形式 | ボディ材質 |
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AP | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
AP | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
AP | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L ダブルメルト |
AZ | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L |
AZ | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L |
AZ | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L |
AK | 一般ガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316 |
AK | 一般ガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316 |
AK | 一般ガス用 | メータリングバルブ | SUS316 |
チェック弁/バキュームジェネレータ/フロースイッチ AP/AZ 一般ガス用/AK
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[チェック弁]
?背圧による流體の逆流を防止。
?內部可動部品はOリングのみのシンプル構造。
?スプリングレス構造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。
[バキュームジェネレータ]
?真空発生機器。
?ガスボンベ交換時、配管中に殘った不要なガスの排出用途に対応。
[フロースイッチ]
?配管の破斷等による過剰流量の検出。
シリーズ | 名稱 | ボディ材質 |
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AP | チェック弁 | SUS316Lダブルメルト |
AP | バキュームジェネレータ | SUS316Lダブルメルト |
AP | フロースイッチ | SUS316Lダブルメルト |