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プロセスガス用機(jī)器
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
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?半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
?ガスの遮斷弁として使用。
?接ガス部にスプリングがなく、駆動(dòng)部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
| シリーズ | 名稱 | 形式 | ボディ材質(zhì) |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L |
| AK | 一般ガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | メータリングバルブ | SUS316 |
製品特長
■減圧弁（圧力調(diào)整器） 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ Series
半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ボディ材質(zhì)はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
接ガス部電解研磨処理。外部メタルシール構(gòu)造。
■減圧弁（圧力調(diào)整器）／背圧弁 一般ガス用 AK/BP Series
半導(dǎo)體から一般産業(yè)まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。流體に応じボディ材質(zhì)はSUS316または黃銅の選択が可能
■ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP Series
半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ガスの遮斷弁として使用。接ガス部にスプリングがなく、
駆動(dòng)部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
■チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP Series
チェック弁
背圧による流體の逆流を防止。內(nèi)部可動(dòng)部品はOリングのみのシンプル構(gòu)造。スプリングレス構(gòu)造により振動(dòng)、
チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側(cè)の圧力変動(dòng)を抑制。
バキュームジェネレータ
真空発生機(jī)器。ガスボンベ交換時(shí)、配管中に殘った不要なガスの排出用途に対応。
フロースイッチ
配管の破斷等による過剰流量の検出
