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プロセスガス用機(jī)器

減圧弁（圧力調(diào)整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP

    ?半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ?ボディ材質(zhì)はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
    ?接ガス部電解研磨処理。
    ?外部メタルシール構(gòu)造。
シリーズ名稱形式ボディ材質(zhì)
AP高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス二段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
SL高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
AZ高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
AK一般ガス用一段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用二段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用エアオペレート式減圧弁SUS316
BP高純度用背圧弁SUS316
BP一般ガス用背圧弁SUS316

製品特長(zhǎng)

減圧弁（圧力調(diào)整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ Series

半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ボディ材質(zhì)はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
接ガス部電解研磨処理。外部メタルシール構(gòu)造。

減圧弁（圧力調(diào)整器）／背圧弁　一般ガス用 AK/BP Series

半導(dǎo)體から一般産業(yè)まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。流體に応じボディ材質(zhì)はSUS316または黃銅の選択が可能

ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AP Series

半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ガスの遮斷弁として使用。接ガス部にスプリングがなく、
駆動(dòng)部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。

チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP Series

チェック弁

背圧による流體の逆流を防止。內(nèi)部可動(dòng)部品はＯリングのみのシンプル構(gòu)造。スプリングレス構(gòu)造により振動(dòng)、
チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側(cè)の圧力変動(dòng)を抑制。

バキュームジェネレータ

真空発生機(jī)器。ガスボンベ交換時(shí)、配管中に殘った不要なガスの排出用途に対応。

フロースイッチ

配管の破斷等による過(guò)剰流量の検出

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