クリーンエアモジュール LLB
圧縮空気清浄化機(jī)器 ? 圧縮空気清浄化フィルタクリーン/低発塵 ? クリーンガスフィルタ?エアフィルタ
ノングリース 窒素(N2)対応機(jī)器 ? 圧縮空気清浄化フィルタ
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?クリーン機(jī)器をモジュール化(配管工數(shù)削減/省スペース)。
手軽にクリーンエアが得られます。
?ろ過度:0.01μm(捕集効率99.99%)。
?流體接觸部:ノングリース、シリコーンフリー。
?クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
?24種類の組合せが可能。
注)入口空気條件 ISO 8573-1 品質(zhì)等級(jí) 1.4.1~1.6.1相當(dāng)
シリーズ | 使用流體 | 設(shè)定圧力 | 流量範(fàn)囲 L/min(ANR) |
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LLB3 | クリーンエア N2ガス 注) | 0.05~0.4MPa | 5~100 |
LLB4 | クリーンエア N2ガス 注) | 0.05~0.4MPa | 50~500 |