製品情報 ?
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プロセスガス用機器
チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP/AZ 一般ガス用/AK
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［チェック弁］
?背圧による流體の逆流を防止。
?內(nèi)部可動部品はOリングのみのシンプル構(gòu)造。
?スプリングレス構(gòu)造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側(cè)の圧力変動を抑制。
［バキュームジェネレータ］
?真空発生機器。
?ガスボンベ交換時、配管中に殘った不要なガスの排出用途に対応。
［フロースイッチ］
?配管の破斷等による過剰流量の検出。
| シリーズ | 名稱 | ボディ材質(zhì) |
|---|---|---|
| AP | チェック弁 | SUS316Lダブルメルト |
| AP | バキュームジェネレータ | SUS316Lダブルメルト |
| AP | フロースイッチ | SUS316Lダブルメルト |
製品特長
■減圧弁（圧力調(diào)整器） 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ Series
半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ボディ材質(zhì)はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
接ガス部電解研磨処理。外部メタルシール構(gòu)造。
■減圧弁（圧力調(diào)整器）／背圧弁 一般ガス用 AK/BP Series
半導(dǎo)體から一般産業(yè)まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。流體に応じボディ材質(zhì)はSUS316または黃銅の選択が可能
■ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP Series
半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ガスの遮斷弁として使用。接ガス部にスプリングがなく、
駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
■チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP Series
チェック弁
背圧による流體の逆流を防止。內(nèi)部可動部品はOリングのみのシンプル構(gòu)造。スプリングレス構(gòu)造により振動、
チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側(cè)の圧力変動を抑制。
バキュームジェネレータ
真空発生機器。ガスボンベ交換時、配管中に殘った不要なガスの排出用途に対応。
フロースイッチ
配管の破斷等による過剰流量の検出
